因 芯 造 境 · 研 精 毕 智
专注半导体封测领域失效分析20年
产品信息

Hamamatsu Thermal F1

型号: Hamamatsu Thermal F1
Hamamatsu Thermal F1
立即咨询
服务热线
0512-66070798
产品优势
Product advantages
Hamamatsu Thermal F1

Hamamatsu Thermal F1

因此您可以通过使用您已经熟悉的示例设置来完成各种分析任务

Hamamatsu Thermal F1
因此您可以通过使用您已经熟悉的示例设置来完成各种分析任务
  • Laser scan system
  • 1.35倍宏观物镜
产品信息
Product Information
  • IR-OBIRCH分析功能
    IR-OBIRCH(红外光束诱导电阻变化)分析通过照射红外激光器检测器件中泄漏电流路径和接触面积电阻失效引起的电流变化。
    优势
  • 高分辨率、高对比度的反射图案图像
    背面观测能力(使用1.3 μm波长的激光器)
    利用红外激光器在半导体场中由硅材料产生的非OBIC信号
    可以测量电压/电流的四个象限
产品参数
Product parameters
EVO系列尺寸EVO10EVO15EVO25

EVO
                     10(可选配BSD和EDS)具备极高的性价比。即使这个EVO真空室很小,它也不同于台式电镜。您现在在
                     EVO
                     的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备
EVO 15 拥有更大的真空室,
                     并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式,
                     你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案
EVO25有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm
                     Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能,
                     它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外,
                     大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。
样品室规格310(直径)*220mm(高度)365(直径)*275mm(高度)420(直径)*330mm(高度)
最大样品高度100 mm145 mm210 mm
最大样品高度100 mm145 mm210 mm
最大样品直径230 mm250 mm300 mm
电动载物台行程80 x 100 x 35 mm125 x 125 x 50 mm130 x 130 x 50 (或 80) mm
产品特点
Product Features
Hamamatsu Phemos-XHamamatsu Thermal F1
HamamatsuThermal F1