产品信息
产品优势
Product advantages
样品放大倍率 = FDD / FOD
球馆在样品上方，使得样品可以无限接近球馆，让缺陷一览无遗①
最大几何放大比1970倍，最大总放大倍率2300~2700倍②
出色的图像放大比
球馆: 180 kV 开管微米管
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高压发生器影像探测器: GE DXR 250 -
斜面观察窗口设计，让您查看更方便简便多样化的操控方式
产品信息
Product Information
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软件界面全新的工作站
实时累计辐射剂量测定
OPC-UA 通用型 MES 系统接口
多种自动检测模块 -
自动分析空洞百分比
产品参数
Product parameters
| EVO系列尺寸 | EVO10 | EVO15 | EVO25 |
|---|---|---|---|
| EVO 10（可选配BSD和EDS）具备极高的性价比。即使这个EVO真空室很小，它也不同于台式电镜。您现在在 EVO 的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备 | EVO 15 拥有更大的真空室， 并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式， 你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案 | EVO25有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能， 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外， 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。 | |
| 样品室规格 | 310（直径）*220mm（高度） | 365（直径）*275mm（高度） | 420（直径）*330mm（高度） |
| 最大样品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
| 最大样品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
| 最大样品直径 | 230 mm | 250 mm | 300 mm |
| 电动载物台行程 | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm |
产品特点
Product Features
自动分析空洞百分比
Flash!filter —— 独有的图像增强技术
