产品信息
ZEISS Xradia Versa系列
型号： Xradia 610 Versa、Xradia 620 Versa
亚微米级三维 X 射线显微镜中的 Xradia Versa 系列， Xradia 600 系列 Versa 拓展了无损成像的研究界限，大大提高了灵活性，更快生成亚微米级分辨率图像，拥有 500nm 的空间分辨率和最小 40nm 的三维体素。
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产品优势
Product advantages
大工作距离亚微米分辨率成像（RaaD）
投射的图像映射在闪烁器上，将X射线转换为可见光，随后，光学透镜会在图像到达探测器前对其进行放大。
LabDCT 高级成像模块
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采用了一项突破性的大功率(25w) X射线源技术，与之前的技术相比，该技术可大幅提高X射线通量。蔡司Xradia 600 Versa系列
产品信息
Product Information
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定位-和-扫描（Scout-and-Scan）控制系统• 用于观察样品的内部摄像头
• 测试规程控制（设置、保存和重新调用）
• 多种能量
• 通过自动进样装置选配件安装多个样品
• 只需点击鼠标即可完成显微定位
• 用于自定义工作流的 XRM Python API -
内部摄像头用于样品查看 菜单控制（设置、保存、记忆） 多能量（选择）可选配多样品自动进样装置
鼠标简单点击即可实现微区定位的能力
用于自定义工作流的 XRM Python API
产品参数
Product parameters
| 成像 | Xradia 515 Versa | Xradia 610 Versa | Xradia 620 Versa |
|---|---|---|---|
| 空间分辨率 [a] | 0.5 µm | 0.5 µm | 0.5 µm |
| 大工作距离高分辨率（RaaD ™）[a,b] （50 mm 工作距离） | 1.0 µm | 1.0 µm | 1.0 µm |
| 可达的最小体素 [c] （最大放大倍率下的样品体素大小） | 40 nm | 40 nm | 40 nm |
| X 射线源 | |||
| 架构 | 闭管透射 | 闭管透射，快速激活 | 闭管透射，快速激活 |
| 电压范围 | 30 – 160 kV | 30 – 160 kV | 30 – 160 kV |
| 最大输出功率 | 10 W | 25 W | 25 W |
| 探测器系统 | |||
| 蔡司 X 射线显微镜拥有创新探测器物镜转盘，装有多个不同放大倍率的物镜。每个物镜配备优化的闪烁器，可提供非常高的吸收衬度细节 | |||
| 标准物镜 | 0.4×, 4×, 20× | 0.4×, 4×, 20× | 0.4×, 4×, 20× |
| 可选物镜 | 40×，平板探测器（FPX） | 40×，平板探测器（FPX） | 40×，平板探测器（FPX） |
| 样品台 | |||
| 样品台（载荷） | 25 kg | 25 kg | 25 kg |
| 样品台行程（x、y、z） | 50、100、50 mm | 50、100、50 mm | 50、100、50 mm |
产品特点
Product Features
对先进半导体封装
显示2.5D封装中的C4凸块、TSV和铜微柱凸块，从而以体素尺寸1 µm的高分辨率查看封装模组内部的情况
