产品信息
ZEISS Crossbeam双束电子显微镜
型号: Crossbeam350
蔡司双束电镜Crossbeam系列结合了高分辨率场发射扫描电镜(FE-SEM)的出色成像和分析性能,以及新一代聚焦离子束(FIB)的优异加工能力。无论是用于多用户实验平台,还是科研或工业实验室, 利用Crossbeam系列模块化的平台设计理念,您可基于自身需求随时升级仪器系统(例如使用LaserFIB进行大规模材料加工)。在加工、成像或是实现三维重构分析时,Crossbeam系列将大大提升您的聚焦离子束(FIB)应用效率。
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产品优势
Product advantages
提升聚焦离子束(FIB)样品制备效率,移除材料相比以往实验快40%以上。
镓离子FIB镜筒Ion-sculptor采用了全新的加工方式:尽可能减少样品损伤,提升样品质量,从而加快实验进程。
使用高达100 nA的离子束束流,高效而精确地处理样品,并保持高分辨率。
样品装载至样品室
导入参考图像进行ROI定位
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样品装载至样品室,导入参考图像进行ROI定位
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基准坐标定位
产品信息
Product Information
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GeminiSEM 560蔡司双束电镜Crossbeam系列结合了高分辨率场发射扫描电镜(FE-SEM)的出色成像和分析性能,以及新一代聚焦离子束(FIB)的优异加工能力。无论是用于多用户实验平台,还是科研或工业实验室, 利用Crossbeam系列模块化的平台设计理念,您可基于自身需求随时升级仪器系统(例如使用LaserFIB进行大规模材料加工)。在加工、成像或是实现三维重构分析时,Crossbeam系列将大大提升您的聚焦离子束(FIB)应用效率。
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ZEISS Crossbeam的优势1.快速实现深埋结构的表征。
2.制备超大截面(宽度和深度可达毫米级)。
3.通过飞秒激光系统在真空环境中对样品进行加工,有效避免热效应对样品的损伤。
激光加工在独立的舱室内完成,不会污染电镜主舱室和探测器。(仅在Crossbeam Laser)
4.可与三维X射线显微镜进行关联,精准定位深埋在样品内部的感兴趣区域(ROI)。
产品参数
Product parameters
EVO系列尺寸 | EVO10 | EVO15 | EVO25 |
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EVO 10(可选配BSD和EDS)具备极高的性价比。即使这个EVO真空室很小,它也不同于台式电镜。您现在在 EVO 的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备 | EVO 15 拥有更大的真空室, 并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式, 你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案 | EVO25有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能, 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外, 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。 | |
样品室规格 | 310(直径)*220mm(高度) | 365(直径)*275mm(高度) | 420(直径)*330mm(高度) |
最大样品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
最大样品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
最大样品直径 | 230 mm | 250 mm | 300 mm |
电动载物台行程 | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm |
应用案例
Application Cases