因 芯 造 境 · 研 精 毕 智
专注半导体封测领域失效分析20年
产品信息

ZEISS Gemini560 场发射扫描电镜

型号: GeminiSEM 560
更高端的表征体验,让您轻松对困难样品进行1 kV以下的高分辨、无畸变成像。
1.产品配备Gemini3镜筒,搭载Nano-twin物镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot,可在1 kV以下对样品进行1 nm以下分辨率的无漏磁成像-无需样品台偏压或单色器。
2.通过新的可变气压模式和检测系统对不导电及气压敏感的样品进行成像:将真空敏感样本通过低真空样品交换室进入电镜腔室,可以维持样品最本征的结构后快速成像。
3.利用带双EDS接口的新型大型腔室,轻松分析复杂样品。通过优化的探测器几何设计确保快速、无阴影的图像。
立即咨询
服务热线
0512-66070798
产品优势
Product advantages
Gemini镜筒技术及其无漏磁成像技术成就出色衬度体验

在低电压下表征不导电矿物颗粒的表面

GeminiSEM 560,800 V, Inlens SE

最佳成像条件
钕铁硼磁铁的磁畴衬度
  • 让您的场发射扫描电镜GeminiSEM 460成为原位实验室
产品信息
Product Information
  • GeminiSEM 560
    1.产品配备Gemini3镜筒,搭载Nano-twin物镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot,可在1 kV以下对样品进行1 nm以下分辨率的无漏磁成像-无需样品台偏压或单色器。
    2.通过新的可变气压模式和检测系统对不导电及气压敏感的样品进行成像:将真空敏感样本通过低真空样品交换室进入电镜腔室,可以维持样品最本征的结构后快速成像。
    3.利用带双EDS接口的新型大型腔室,轻松分析复杂样品。通过优化的探测器几何设计确保快速、无阴影的图像。
  • 强大的ZEN CORE软件以及一系列可选的分析软件
    帮助用户实现大量三维灰度数据的可视化和分析
产品参数
Product parameters
EVO系列尺寸EVO10EVO15EVO25

EVO
                     10(可选配BSD和EDS)具备极高的性价比。即使这个EVO真空室很小,它也不同于台式电镜。您现在在
                     EVO
                     的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备
EVO 15 拥有更大的真空室,
                     并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式,
                     你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案
EVO25有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm
                     Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能,
                     它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外,
                     大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。
样品室规格310(直径)*220mm(高度)365(直径)*275mm(高度)420(直径)*330mm(高度)
最大样品高度100 mm145 mm210 mm
最大样品高度100 mm145 mm210 mm
最大样品直径230 mm250 mm300 mm
电动载物台行程80 x 100 x 35 mm125 x 125 x 50 mm130 x 130 x 50 (或 80) mm
产品特点
Product Features
锂离子电池内部三维结构
使用 3DSM 对陶瓷表面成像