因 芯 造 境 · 研 精 毕 智
专注半导体封测领域失效分析20年
产品信息

ZEISS Gemini460 场发射扫描电镜

型号: GeminiSEM 460
1.产品搭载Gemini 2镜筒,可快速执行高分辨成像和大束流分析:从小束流-低电压无缝切换到大束流-高电压。
2.对于化学成分和晶体取向的分析,具有两个对称的EDS端口和共面的EDS/EBSD几何学设计,可实现更快速度且无阴影的面分析结果。
3.多接口腔室设计可兼容更多探测器,以进行高效分析。
4.当您需要测试材料的加工特性时,蔡司将为您提供自动化的原位加热和拉伸实验平台:它可以让您自动观察在加热和拉伸条件下的材料,同时动态绘制应力-应变曲线。
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0512-66070798
产品优势
Product advantages
产品搭载Gemini 2镜筒

对于化学成分和晶体取向的分析

多接口腔室设计可兼容更多探测器

多功能的样品腔室
满足您不同应用需求的个性化配置。
  • 让您的场发射扫描电镜GeminiSEM 460成为原位实验室。
产品信息
Product Information
  • Sigma系列
    1.产品搭载Gemini 2镜筒,可快速执行高分辨成像和大束流分析:从小束流-低电压无缝切换到大束流-高电压。
    2.对于化学成分和晶体取向的分析,具有两个对称的EDS端口和共面的EDS/EBSD几何学设计,可实现更快速度且无阴影的面分析结果。
    3.多接口腔室设计可兼容更多探测器,以进行高效分析。
    4.当您需要测试材料的加工特性时,蔡司将为您提供自动化的原位加热和拉伸实验平台:它可以让您自动观察在加热和拉伸条件下的材料,同时动态绘制应力-应变曲线。
产品参数
Product parameters
EVO系列尺寸EVO10EVO15EVO25

EVO
                     10(可选配BSD和EDS)具备极高的性价比。即使这个EVO真空室很小,它也不同于台式电镜。您现在在
                     EVO
                     的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备
EVO 15 拥有更大的真空室,
                     并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式,
                     你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案
EVO25有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm
                     Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能,
                     它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外,
                     大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。
样品室规格310(直径)*220mm(高度)365(直径)*275mm(高度)420(直径)*330mm(高度)
最大样品高度100 mm145 mm210 mm
最大样品高度100 mm145 mm210 mm
最大样品直径230 mm250 mm300 mm
电动载物台行程80 x 100 x 35 mm125 x 125 x 50 mm130 x 130 x 50 (或 80) mm
应用案例
Application Cases