产品信息
ZEISS Gemini360 场发射扫描电镜
型号： GeminiSEM 360
1.产品搭载Gemini 1镜筒，在低电压下依然具有高分辨成像能力，让您轻松获取样品极表面高分辨信息。
2.通过镜筒内二次电子和背散射电子同时成像，即使对于电子束敏感样品也可以获取高分辨的表面形貌和成分衬度。
3.在低真空下（NanoVP）拍摄不导电样品时，依然可以通过镜筒内Inlens探头获得优异衬度：无荷电高分辨。
2.通过镜筒内二次电子和背散射电子同时成像，即使对于电子束敏感样品也可以获取高分辨的表面形貌和成分衬度。
3.在低真空下（NanoVP）拍摄不导电样品时，依然可以通过镜筒内Inlens探头获得优异衬度：无荷电高分辨。
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产品优势
Product advantages
两个平行设计的镜筒内探测器
GeminiSEM 360
多功能的样品腔室满足您不同应用需求的个性化配置
产品信息
Product Information
-
GeminiSEM 360是用于分析测试平台的理想设备，为材料和生命科学、工业领域提供了至臻的功能性；
同名的Gemini 1电子光学设计提供表面灵敏的高分辨率图像，即使在低电压条件下仍具有出色的分辨率，并在高探针电流条件下提供快速成像；
Inlens二次电子成像和背散射电子成像可同时收集高分辨率的表面形貌和复合成分衬度信息（对电子束敏感样品亦是如此）；
在低真空条件（即可变压力）下对绝缘样品进行成像时，无需牺牲Inlens衬度：NanoVP保证了出众功能，确保在不受荷电影响的情况下进行Inlens成像
| Essential Specifications | ZEISS GeminiSEM 360 |
|---|---|
| Electron Emitter | Thermal field emission type |
| Resolution | 0.7 nm @ 15 kV |
| 1.2 nm @ 1 kV | |
| Acceleration Voltage | 0.02 – 30 kV |
| Probe Current | 3 pA – 20 nA (100 nA configuration also available) |
| Maximum field of view in high resolution mode | 5 mm @ 5 kV and WD = 8.5 mm |
| Frame Store Resolution | Up to 32k × 24k pixels |
| Chamber Size | 360 mm inner diameter |
| 270 mm height | |
| Specimen Stage | X = 130 mm; Y = 130 mm |
| Z = 50 mm | |
| T = -4º to 70º | |
| R = 360º (continuous) |
产品参数
Product parameters
| Essential Specifications | ZEISS GeminiSEM 360 |
|---|---|
| Electron Emitter | Thermal field emission type |
| Resolution | 0.7 nm @ 15 kV |
| 1.2 nm @ 1 kV | |
| Acceleration Voltage | 0.02 – 30 kV |
| Probe Current | 3 pA – 20 nA (100 nA configuration also available) |
| Maximum field of view in high resolution mode | 5 mm @ 5 kV and WD = 8.5 mm |
| Frame Store Resolution | Up to 32k × 24k pixels |
| Chamber Size | 360 mm inner diameter |
| 270 mm height | |
| Specimen Stage | X = 130 mm; Y = 130 mm |
| Z = 50 mm | |
| T = -4º to 70º | |
| R = 360º (continuous) |
应用案例
Application Cases
